Il processo di preparazione dei target in zirconio comprende le seguenti fasi principali:
Fusione: l'ossido di zirconio di elevata purezza viene ridotto in zirconio metallico ad alta temperatura attraverso un forno ad arco o un forno a induzione. La temperatura e l'atmosfera devono essere rigorosamente controllate durante il processo per evitare che le impurità si mescolino. Colata: il metallo di zirconio fuso viene colato in lingotti attraverso uno stampo. Il processo di fusione viene effettuato in un ambiente di gas inerte di elevata purezza per garantire la purezza e l'integrità strutturale del materiale. Laminazione: il lingotto di zirconio colato viene laminato a caldo e laminato a freddo per formare target di zirconio dello spessore e della forma richiesti. La densità e l'uniformità del materiale vengono gradualmente migliorate mediante ripetuti riscaldamenti e raffreddamenti durante il processo di laminazione. Trattamento superficiale: il target in zirconio deve essere trattato in superficie prima dell'uso per rimuovere lo strato di ossido e altre impurità superficiali. I metodi di trattamento comuni includono la lucidatura chimica e la lucidatura meccanica. Controllo di qualità: la purezza e l'uniformità del target di zirconio sono rigorosamente testate da apparecchiature avanzate come lo spettrometro di fluorescenza a raggi X (XRF) e lo spettrometro di massa al plasma accoppiato induttivamente (ICP-MS) per garantire che soddisfi i requisiti delle applicazioni high-tech .
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