Fattore di sputtering del bersaglio di tungsteno
Metodo di produzione target
1. Metodo di fusione
Il metodo di fusione consiste nel fondere materie prime di lega con un certo rapporto di composizione, quindi versare la soluzione di lega fusa in uno stampo per formare un lingotto, che viene poi lavorato per formare un bersaglio. I metodi di fusione generalmente richiedono la fusione e la fusione sotto vuoto. I metodi di fusione comuni includono: fusione a induzione sotto vuoto, fusione ad arco sotto vuoto e fusione a bombardamento di elettroni sotto vuoto. I suoi vantaggi sono che il materiale bersaglio prodotto ha un basso contenuto di impurità, un'elevata densità e può essere utilizzato su bersagli su larga scala. Produzione chimica; lo svantaggio è che se vengono fusi due o più metalli con grandi differenze nel punto di fusione e nella densità, è difficile realizzare un bersaglio in lega con composizione uniforme con metodi di fusione convenzionali.
2. Metodo della metallurgia delle polveri
Il metodo della metallurgia delle polveri consiste nel fondere materie prime di lega con una certa proporzione di ingredienti, quindi fondere la soluzione di lega ottenuta dopo la fusione in un lingotto, frantumare il lingotto fuso, pressare staticamente la polvere frantumata in forma e quindi sinterizzarla ad alta temperatura per formare un materiale target. Il vantaggio del materiale target realizzato in questo modo è che la composizione è uniforme; lo svantaggio è che la densità è bassa e il contenuto di impurità è elevato. Le industrie di metallurgia delle polveri comunemente utilizzate includono la pressatura a freddo, la pressatura a caldo sotto vuoto e la pressatura isostatica a caldo.
Obiettivi di sputtering al tungsteno all'80%
Obiettivi di sputtering 80% W
